英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V，3 相，60Hz，4hp
概述
防爆型機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可以在潛在易爆氣體環(huán)境中使用。
EH1200C 機械增壓泵已經(jīng)過鑒定，可用于 CSA Division 1 區(qū)域、氣體 Class I、Group C D 和灰塵 Class II Group F G、溫度 Class T3C。泵的溫度分類基于在零流量、低于 10 mbar (1 x 103 Pa) 的臨界前級壓力下保持的泵出氣口壓力。
EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
防爆型機械增壓泵可能配備防爆型電機，或作為防爆型系統(tǒng)的一部分供貨。請咨詢 Edwards。英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修?
應用
- 半導體制程
- 真空蒸餾
- 真空包裝
- 鋼脫氣
- 薄膜覆層
- 真空冶金
- 低密度風洞
- 空間模擬
- 真空浸漬
- 油干燥和脫氣
- 制藥冷凍干燥
- CO2 激光
EH1200C 230/460V，3 相，60Hz，4hp
A30556982
功能和優(yōu)勢
適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
安靜的無振動運行。
牢靠且防腐蝕。
良好的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染英國愛德華羅茨真空泵EH1200C 230/460V維修?
防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。
軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是良好技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 容積（工作容積） | |
| 50Hz | 1195 m3h-1/715 ft3min-1 |
| 60Hz | 1435 m3h-1/845 ft3min-1 |
| 使用后備泵時的有效抽取速度 | |
| E2M80 | 840 m3h-1/495 ft3min-1 |
| E2M175 | 930 m3h-1/548 ft3min-1 |
| E2M275 | 1020 m3h-1/601 ft3min-1 |
| 泵的壓差 † | |
| 50Hz | 0-90 mbar/0-68 Torr |
| 60Hz | 0-75 mbar/0-56 Torr |
| 入口連接 | ISO160 |
| 出口連接 | ISO100 |
| 轉(zhuǎn)速 | |
| 50Hz | 0-2900 rpm |
| 60Hz | 0-3500 rpm |
| 連續(xù)入口操作壓力 | 0-1000 mbar/0-760 Torr |
| 大出口壓力 | 1000 mbar/760 Torr |
| 推薦的后備泵 | GXS160，GXS250，E2M80，E2M175 |
| 電源供給 | |
| 50Hz | 220-240V/380-415V |
| 60Hz | 230V/460V |
| 馬達功率 | |
| 碳氫化合物 | 3kW/4hp |
| PFPE | 3kW/4hp |
| ATEX | 3kW |
| 防爆型 | 4hp |
| 環(huán)境溫度范圍 | |
| 操作 | 5 至 40°C/40 至 104°F |
| 存儲 | -10 至 80°C/14 至 176°F |
| 大操作濕度 | 90% RH |
| 推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C）* | 120 l h-1/0.53 gal min-1 |
| 推薦的冷卻水供應壓力* | 2-6 bar |
| 冷卻水接頭* | 3/8 英寸 BSP 陽螺紋 |
| 推薦用油 | |
| 標準型 | Ultragrade 20 |
| PFPE 版本 | Fomblin® YVAC 16/6 |
| 油容量 | |
| 齒輪箱 | 1.25 升 |
| 聯(lián)結(jié)器箱 | 2.4 升 |
| 軸桿封口儲油器 | 0.125 升 |
| 重量** | 149 kg |
* 在許多情況下，泵可在沒有冷卻水的情況下操作。是否適合 Edwards 請了解詳細信息。
** 重量請參考 IND 版本
†.取決于壓力
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