日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?
標(biāo)準(zhǔn)低溫泵 [6型]
CRYO-U6H
特點(diǎn)
- 能發(fā)揮4型的低溫泵的高排氣特性。
- 高排氣速度對于排氣效率與生產(chǎn)性提高都能做出貢獻(xiàn)。
- 特別適用在半導(dǎo)體制造的濺射工藝裝置和小規(guī)模的裝置上。
- 1臺壓縮機(jī)可以支持4臺低溫泵同時(shí)運(yùn)作。
- 可以按照用途的不同進(jìn)行設(shè)計(jì)、制作。
- 日本愛發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U6H維修保養(yǎng)?
外形尺寸 (單位:mm)
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 排気速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 450 |
| 氫氣 | 500 | ||
| 氬氣 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到達(dá)圧力 | Pa | 10-7 | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | 氬氣 | Pa?L | 1.0×107 |
| 氫氣 | 1.5×105 | ||
| 冷卻降下時(shí)間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 質(zhì)量 | Kg | 14.5 | |
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