LEYSPEC view 100 殘余氣體分析儀RGA
秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:檢漏判斷真空品質檢測工藝氣體提高品質和良品率故障診斷分析判斷低溫泵再生周期產品類別 產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。
LEYSPEC view 100殘余氣體分析儀RGA
秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.
萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
萊寶殘余氣體分析儀RGALEYSPEC view 100
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:
檢漏
判斷真空品質
檢測工藝氣體
提高品質和良品率
故障診斷分析
判斷低溫泵再生周期
產品類別
產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。
LEYSPEC view版特別適用于高真空設備，科研、環境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。
LEYSPEC ultra版用于復雜的殘余氣體分析，靈敏度高，耐烘烤溫度高，可檢分壓低。
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益：
過程可控
LEYSPEC自帶數顯，易于現場管理
贈送軟件易于使用及分析并有報警功能
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應用：
半導體生產設備
鍍膜、顯示行業
真空熱處理
真空干燥
研發
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Leybold Name | LEYSPEC view 100 | LEYSPEC view 100S | LEYSPEC view 200 | LEYSPEC view 200S | LEYSPEC ultra 200S | LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-200 | 1-300 |
Mass filter type | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS |
detector type | Faraday cup | EM/Faraday Cup | Faraday cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | 400/2.5x10-4 |
Minimum detectable | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-11 | 1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 |
Filament material | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 |
Max sensing temp (°C) | 120 | 120 | 120 | 120 | 250 | 250 |
Max. bake out temp (elec. removed) (°C) | 250 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 |
connection flange | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF |
Power input | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) | 2,6 | 2,84 | 2,6 | 2,84 | 3,21 | 3,21 |
IP | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
Serial communication | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 |
Software | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA |
Resolution | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) |
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